车间净化工程无尘车间施工的要求
摘要:
芯片生产车间无尘室、集成电路无尘车间洁净室和磁盘制造车间是属于电子制造行业洁净室的重要组成部分,由于电子产品在制造、生产过程中对室内空气环境和品质的要求极为严格,主要以控制微粒和浮尘为主要对象,同时还对其环境的温湿度、新鲜空气量、噪声等作出了严格的规定。1、电子制造厂万级洁净室内的噪声级(空态):不应大于65dB(A)。
2、电子制造厂洁净室垂直流洁净室满布比不应小于60%,水平单向流洁净室不应小于40%,否则就是局部单向流了。
3、电子制造厂洁净室与室外的静压差不应小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa
4、电子制造行业万级洁净室内的新鲜空气量应取大值。
5、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。
6、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。
7、电子制造行业洁净室净化空调系统加热器,应设置新风,超温断电保护,若采用点加湿时应设置无水保护,寒冷地区,新风系统应设置防冻保护措施。
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